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生產(chǎn)地址：蘇州市廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-12-04訪 問(wèn) 量：4363產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
與溫控技術(shù)、原位力學(xué)技術(shù)等相關(guān)的產(chǎn)品，如晶圓加熱系統(tǒng)、快速退火爐、高低溫試驗(yàn)箱等，可為客戶提供個(gè)性化定制。
果果儀器RTP600快速退火爐：專為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計(jì)，支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴(kuò)散/快速退火工藝，采用雙層21×1kW高功率燈管，實(shí)現(xiàn)150℃/s極速升溫控制，通過(guò)水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性，兼容2~6英寸晶圓片，結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。
快速退火爐RTP600特點(diǎn)：
• 控溫速率：最大升溫速率：150℃/s
• 載樣臺(tái)：2~6英寸圓形襯底石英載片臺(tái)
• 腔室可升級(jí)真空
• 高精度控溫
• 專業(yè)溫控軟件
• 支持定制
快速退火爐RTP600參數(shù)：
型號(hào) | RTP600 | |
腔體 | 石英腔體 | |
溫控范圍 | 上下雙層加熱，最高溫度1000℃ | |
控溫速率 | 最大升溫速率：150℃/s | |
載樣臺(tái) | 2~6英寸圓形襯底石英載片臺(tái) | |
腔室 | 真空/氣氛 | |
功率 | 21kW | |
外形尺寸 | 534mm*608mm*272mm | |
凈重 | 42kg | |
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