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案例分享丨定制SEM冷臺適配國儀量子聚焦離子束顯微鏡

發(fā)表時間:2025/5/9 10:52:11


根據(jù)客戶需求,果果儀器為中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所定制的SEM原位冷臺,適配國儀量子FIB-SEM DB500,助力相關(guān)測試研究。





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國儀量子聚焦離子束顯微鏡(簡稱FIB)DB500 機臺擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒,是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,低電壓高分辯率成像,保證納米分析能力?!俺杏啊彪x子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源,擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。


果果儀器-SEM原位冷臺,是一種應用在掃描電子顯微鏡(SEM)上的樣品臺(無需改造電鏡內(nèi)部),提供樣品原位變溫測試的電鏡附件,適用于各種樣品在掃描電子顯微鏡中進行高低溫結(jié)構(gòu)研究。


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果果儀器 SEM原位冷臺



產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)


1、采用液氮致冷,提供≤100K的低溫環(huán)境,穩(wěn)定時間≥10h;

2、載樣臺尺寸:圓形載樣臺φ40mm,配置20*20mm方形樣品槽;

3、樣品臺材質(zhì):銅鍍金;

4、配置了最高10kV的高壓電極。


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果果儀器SEM原位冷臺測試現(xiàn)場






SEM原位冷臺適配國儀量子FIB現(xiàn)場





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